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碳化硅零件氧化辅助抛光超精密加工的研究现状
摘要:通过等离子体氧化、热氧化、电化学氧化在碳化硅基材上获得软质氧化层,利用软磨粒抛光实现氧化物的快速去除,有利于提高材料去除......
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